信息学院购置的 “电子束蒸发镀膜系统”到货
编辑：佚名 来源:本站原创 发布时间：2015年05月05日
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我校信息科学技术学院购置的美国DE公司生产的“电子束蒸发镀膜系统” 于2015年4月29日到货。该设备由“985”项目三期经费支持，将用于开展碳基电子器件的研究，是对材料表面进行镀膜的必要设备。拟安装在理科二号楼微纳加工实验室，责任教授为彭练矛教授。
相关信息：2014年12月26日北京大学信息学院等离子体增强型化学气相沉积设备、电子束蒸发仪招标采购项目(2014[050])完成