技术指标：探针和样品台的扫描范围： 100um×100um，具有样品扫描和探头探针扫描两种功能。

功能特色：该系统基于Oluympus X71倒置光学显微镜，集成有原子力显微镜（AFM），扫描近场光学显微镜（SNOM)，激光共焦扫描成像以及拉曼光谱功能，可提高空间分辨率，具备观测单个纳米结构形貌和光学特性的功能。