技术指标：条纹分辨率1.4A°，点分辨率1.8A°，线分辨率1A°，加速电压300 kV，样品倾角±15°，EDAX X光能谱仪分辨率154 EV，可测元素范围：B5-U92。可以对半导体、超导体、微电子器件、矿物、有机和无机物、生物样品进行常规的显微图象观察，直至原子尺度的结构像的观测，同时也可以对微米-亚微米级的物质进行结构和化学成分分析。

功能特色：可以对半导体、超导体、微电子器件、矿物、有机和无机物、生物样品进行常规的显微图象观察，直至原子尺度的结构像，同时也可以对微米-亚微米级的物质进行结构和化学成分分析。